关于匀胶显影机的新闻
发布日期：2021-01-29
匀胶显影机一般由四部分组成。第一部分是晶圆盒工作站，晶圆盒在这里装载到机器上。机械手从晶圆盒中把晶圆抽出来，传送到工艺处理部分，即第二部分。工艺处理部分是匀胶显影机的主体，增粘模块，热盘、冷盘、旋涂、显影等首要工艺单元都安装在这里，一个或两个机械手在各单元之间传递晶圆。第三部分是为浸没式光刻工艺配套的单元，包含晶圆外表水冲刷单元、背清洗单元等。第四部分是和光刻机联机的接口界面，包含暂时储存晶圆的缓冲盒、晶圆边缘曝光和光刻机交流晶圆的接口等。
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