什么是晶体缺陷?
发布日期：2021-01-13
什么是晶体缺陷?
晶体内的原子是按一定的的原则周期性地排列着的。如果在晶体中的一些区域，这种排列遭到破坏，称这种破坏为晶体缺陷。晶体缺陷对半导体材料的使用性影响很大，在大多数的情况下，它使器件性能劣化直至失效。因此在材料的制备过程中都要尽量排除缺陷或降低其密度。晶体缺陷的控制是材料制备的重要技术。
晶体缺陷的种类:
(1)点缺陷，如空位、间隙原子、反位缺陷、替位缺陷和由它们构成的复合体。
(2)线缺陷，呈线状排列，如位错就是这种缺陷。
(3)面缺陷，呈面状，如晶界、堆垛层错、相界等。
(4)体缺陷，如空洞、夹杂物、杂质沉淀物等。
(5) 微缺陷，几何尺寸在微米级或更小，如点缺陷聚集物等。
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